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海外工业日本EBARA荏原干式真空泵
产品型号：EV-M802N
产品展商：EBARA荏原

凭借EBARA独有的耐热技术，EV-M系列真空泵专为半导体、液晶和太阳能电池制造过程中会产生大量反应副产物的高负荷应用而设计。EV-M系列真空泵拥有**的能耗性能，**平衡了高负荷应用的耐受性和能源效率。标配坚固耐用的防腐蚀材料。此外，还提供一款泵送速率高达110,000升/分钟的大容量型号。丰富的产品线可满足各种高负荷应用的需求，以匹配不同的工艺条件。

详细介绍
凭借EBARA独有的耐热技术，EV-M系列真空泵专为半导体、液晶和太阳能电池制造过程中会产生大量反应副产物的高负荷应用而设计。EV-M系列真空泵拥有**的能耗性能，**平衡了高负荷应用的耐受性和能源效率。标配坚固耐用的防腐蚀材料。此外，还提供一款泵送速率高达110,000升/分钟的大容量型号。丰富的产品线可满足各种高负荷应用的需求，以匹配不同的工艺条件。

类型 单元 EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M505SF EV-M802N EV-M805SF EV-M1205SF
冷却水 流速 升/分钟 3~8 3~8 3.5~8 4~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8
温度 ℃ *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30
电源 功率容量 千伏安 3.3 5.4 6 6.8 7.1 15.7 8.3 19.4 14.2
泵送速度 升/分钟 1800 10000 20000 30000 50000 50000 80000 80000 110000
极限压力 宾夕法尼亚州 5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
联系 进口 西北40 ISO100 ISO100 ISO100 ISO160 ISO160 ISO200 ISO200 ISO200
出路 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40
极限压力下的近似功率 千瓦 1.2 1.8 1.9 2.3 2.1 3.9 2.8 4.6 5.3
N2 流速 帕·米³/秒 26~31 26~31 26~31 26~31 28~33 228 28~33 228 34~35
电源相位/电压/频率 200V 型号 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型号 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		- 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
重量 公斤 170 320 360 400 500 580 740 820 870
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