通过调节超纯水与二氧化碳气体注入模块产生的饱和二氧化碳气体的水的混合比例，可以控制超纯水的电阻率值（见右上图）。
eFLOW2、3A* 型包含两个二氧化碳气体注入模块。
※流量变动时，无法保证比电阻值性能。 ※以上图表为参考数据。性能和特性可能因使用条件而异。
■ 清洁规格（流量高达 30 L/min） ■ 低比阻类型 ■ 小型/分离电气部分类型 ■ 大流量（100 L/min）类型 ■ 其他类型，可定制
• 掩模版、光罩清洗 • 洗涤器清洗 • 高压喷射清洗 • 切割阶段清洗 • 单元清洗
P系列可安装在符合EIA（电子工业联盟）标准的机架上。1AP型的标准配置为接头完全可清洁。2AP型可选配完全可清洁支架。
C系列包含一个可安装两个二氧化碳罐的柜体。比电阻传感器位于柜体内部，水管可直接连接到eFLOW的使用点。