高度通用的质量流量控制器,标配可变范围功能,可更改流量范围、数字通信(RS-485)和金属密封。
可变量程功能可让您将一台质量流量控制器的规格更改为多台,这不仅减少了备件数量,而且还可实现在线量程变更。非常适合流量范围和气体类型频繁变更的实验室设备。
MC-700
使用示例
实验设备和原型
实验设备和样机通常需要控制多种气体并改变流量范围,因此需要多台质量流量控制器。MC-700系列标配VR功能,可切换气体种类和流量,非常适合一台设备处理多种规格,并降低成本。此外,密封材质为SUS-316L金属密封,适用于高腐蚀性气体。
标准化MFC备件
根据用途,需要准备不同气体种类和流量范围的质量流量控制器,而搭载VR功能的MC-700,一台即可对应多种气体种类和流量范围,包括腐蚀性气体,因此能够应对各种场合。此外,通过质量流量控制器的标准化,也有助于减少备件数量。
规格
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温度
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*小压差
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*大压差
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准确性
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控制范围
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*小 FS
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*大
FS
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海豹
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15~35℃
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50千帕
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300千帕
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±1%满量程
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2~100%满量程
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10SCCM
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50SLM
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金
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※规格表所示为质量流量控制器的一般规格。 可根据选配项目进行变更。