响应时间为 200 毫秒的超高速质量流量控制器。
热传感器可实现100毫秒（典型值）的高速流量控制。琳得科独特的非接触式热流量传感器和压电控制阀可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。
±1.0% SP流量的高精度，可选数字通信方式：DeviceNet或EtherCAT。
在半导体制造工艺中，在追求小型化的同时，也要求提高生产率。此外，控制反应气体流量的质量流量控制器对缩短流量控制启动（上升）时间的需求也日益增长。超高速质量流量控制器[MC-7000]是一款非接触式热流量传感器，无需与被测气体接触，即可实现200毫秒的超高速响应。由于采用非接触式设计，因此可以高速控制腐蚀性气体的流量。