琳得科率先开发出 符合SEMI标准的DeviceNet™通信用质量流量控制器MC-5000L。该控制器配备了半导体制造所需的金属密封和独特的环境温度补偿流量传感器。此外，还兼容液化气等多种选配功能。
现场网络控制在半导体设备中正日益普及。DeviceNet通信专用的MFC（MC-5000L）无需AD/DA转换器或IO板，从而降低成本并减少布线。
※规格表所示为质量流量控制器的一般规格。 可根据选配项目进行变更。