现货全新LINTEC琳得科EtherCAT质量流量控制器 MC-5470C 玉崎科学仪器（深圳）有限公司

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现货全新LINTEC琳得科EtherCAT质量流量控制器

产品型号： MC-5470C

产品展商：LINTEC琳得科

用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。适用于半导体工艺的高性能质量流量控制器，EtherCAT 通信版本。符合 SEMI 标准，可通过 EtherCAT 通信进行控制，用于提高半导体制造设备中传输系统的速度。它标配了半导体制造工序中所需的金属密封和琳得科独特的环境温度补偿流量传感器，并可添加与液化气兼容等选项。还可提供防止液化气体再次液化的可选低压差规格和加热

详细介绍

越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通信（数字I/F），以实现对机械臂等传送系统的高速控制。EtherCAT通信拥有65,536个节点，因此所有MFC测量和运动系统元素都可以统一到EtherCAT通信中。

_温度	_*小压差	_*大压差	_准确性	_控制范围	_{*小 FS}	_*大FS	_海豹
_15~35℃	_50千帕	_300千帕	_{±1% 标准偏差}	_{2～100%满量程}	_10SCCM	_300SLM	_金

※规格表所示为质量流量控制器的一般规格。可根据选配项目进行变更。