CVD 和 ALD 中使用的原料气体在常温常压下不一定是气体。在常温常压下，通常使用液体或固体原料。液体和固体原料在室温下几乎不会产生气体，这使得使用压差驱动气体的 MFC 难以控制流量。因此，需要加热原料罐，从而增加蒸汽压并产生压差，以确保 MFC 的工作压力。MC-3000L-TC 可实现高温控制和低压差操作，非常适合液化气体和升华气体的流量控制。
※规格表所示为质量流量控制器的一般规格。 可根据选配项目进行变更。