特征

• 玻璃钟罩可以方便地看到内部，并且易于操作。
• 无需停止主泵即可打开真空室。
• 通过添加蒸发电源和电极，可以实现同时沉积和多层沉积。
• 该沉积设备配有脚轮，方便移动。

规格

模型		VPC-260F
真空性能	极限压力	1.3× 10-3 Pa 6.6×10-4 Pa （使用液氮时）
	排气时间	4.0× 10-3 Pa/20min 1.3× 10-3 Pa/20min（使用液氮时）
真空室	真空室	玻璃钟罩（内径Φ300mm x 高300mm）
	饲料颜色	8 个端口（侧面 8 个）
	推荐电路板尺寸及*大尺寸*1	□50mm ・ □140mm（*大）
电力系统	蒸发电极配置	1点型
	蒸发电源/个	SEREM PSE-150C 1型 0~10V 150A（*大）
排气系统	主泵	油扩散泵（风冷）200L/秒
	液氮阱	是的
	辅助泵	油旋片真空泵100L/min
	油雾收集器	选项
操作系统	主阀	阀瓣阀
	辅助阀	三通阀
	自动泄漏阀	选项
	手术	手动的
控制系统	皮拉尼真空计	选项
	电离真空计	选项
安装	主体*大尺寸	530毫米（宽）x 550毫米（深）x 1135毫米（高）
	电源	480毫米（宽）x 435.3毫米（深）x 149毫米（高）
	主体	75公斤
	电源	40公斤