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半导体材料气体检测仪COSMOS新宇宙
产品型号:XP-703DIII
产品展商:
XP-703DIII 半导体材料气体检测仪,专为半导体行业设计。它身形小巧轻便,尺寸为 W38×H130×D32mm,重约 190g,可单手操作。能精准探测砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气等半导体材料气体的微量泄漏,如氢气*低可测至 1ppm。采用专线型半导体检测原理,自动吸引式采样。搭载自动气体排气模式,泵有自动停止功能,防护等级约 IP22(装皮套时),为半导体生产**保驾护航 。
详细介绍
特征
检测半导体材料气体的微小泄漏。
随着气体浓度的变化,警报声(间歇声)的速度逐渐变化,当浓度变高时,发出连续声,从而很容易识别气体泄漏的位置。
该装置可处理多种半导体材料气体(砷化氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气等)。
与之前的型号相比,该款产品明显更小巧、更轻便,紧凑的机身握在手中十分舒适。
配备 LCD 屏幕,可清晰显示设备状态,例如剩余电池电量和泵状态。
报警灯安装在正面和底部两处,方便工作时查看报警。
防护等级相当于IP22(JIS C 0920)*。*需安装皮套
符合 CE 标准
规格
模型
XP-703DIII
被检测气体
半导体材料气体(砷化氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气)
气体采样方法
自动吸气式
检测原理
专线半导体型
砷化氢
膦
乙硼烷
硅烷
氢
可检测
泄漏量
2.53×
10−7
帕•立方米
/
秒
1.52×
10−7
帕•立方米
/
秒
1.01×
10−7
帕•立方米
/
秒
2.53×
10−7
帕•立方米
/
秒
5.07×
10−7
帕•立方米
/
秒
可检测浓度
0.5 ppm
0.3 ppm
0.2 ppm
0.5 ppm
1.0 百万分之一
响应时间
10秒内(气体浓度为可检测浓度的3倍,灵敏度设置[4])
显示方式
间歇性声音和闪烁的警报灯
电源
两节 AA 碱性电池
连续使用时间
*1
约12小时(AA碱性电池)[常温常湿下]
防护等级
*2
IP22 等级
工作温度范围
0℃~+40℃、85%RH以下(无凝露)
外形尺寸
W38×H130×D32mm(不含突出部分)
大量的
约190克(含电池和皮套)
标准配件
皮套、排水过滤器、更换滤芯、附件、检查气体、手带、两节 AA 碱性电池等。