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经济型ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
产品型号：LR421
产品展商：ULVAC爱发科

通过低温区域的泵体均热化，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
详细介绍

通过低温区域的泵体均热化，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

特点

低温区域均热化（Model:LR）

在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

氦气密封

通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常。

瞬停对策

采取了1000msec以内瞬停对策。

出色的耐腐蚀性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

通信功能

可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途

成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）

缩短备料下料室的排气时间

作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）

规格

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
*大
排气速度 		50Hz 62 m3/h
(1030 L/min) 		112 m3/h
(1860 L/min) 		183 m3/h
(3100 L/min) 		440 m3/h
(7333 L/min) 		440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz 80 m3/h
(1333 L/min) 		126 m3/h
(2100 L/min) 		237 m3/h
(3950 L/min)
到达压力 5.0 Pa
*大排气压力 （吸入圧力） 大气压
*大排气口压力
（排出圧力） 		1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG100
排气口 KF40 VG50
质量 180 kg 245 kg 335 kg 415 kg
电源 *1 三相 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值 稳定时 6.9 A
(at 200V) 		11.2 A
(at 200V) 		18.9 A
(at 200V) 		20.8 A
(at 200V)
*大值 7.3 A
(at 200V) 		11.8 A
(at 200V) 		20.6 A
(at 200V) 		48.5 A
(at 200V)
冷却水一次压力 0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa
冷却水出入口压差 >0.1 MPa >0.2 MPa
冷却水流量 >5.0 L/min >4.0 L/min
吹扫气 一次压力 0.1~0.5 MPa
二次压力 0.05~0.1 MPa
氮气吹扫 轴 5 SLM
气镇 0~45 SLM 没有 0~45 SLM


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