特征

• 玻璃钟罩可以方便地看到内部，并且易于操作。
• 无需停止主泵即可打开真空室。
• 通过添加蒸发电源和电极，可以实现同时沉积和多层沉积（*多4层）。
• 该沉积设备配有脚轮，方便移动。
• 配有调节器以确保安装过程中的**。

规格

模型		VTR-350M/ERH
真空性能	极限压力	4.0× 10-4 Pa 2.0×10-4 Pa （使用液氮时）*1
	排气时间	4.0× 10-3 Pa/10min 3.0× 10-3 Pa/10min（使用液氮时）*1
真空室	真空室	玻璃钟罩（内径Φ300mm x 高300mm）
	饲料颜色	12 个端口（侧面 8 个/底部 4 个）
	推荐电路板尺寸及*大尺寸*2	□50mm ・ □140mm（*大）
电力系统	蒸发电极配置	1点型
	蒸发电源/个	SEREM PSE-150C 1型 0~10V 150A（*大）
排气系统	主泵	涡轮分子泵（345升/秒）
	液氮阱	选项
	辅助泵	油旋片真空泵（200L/min）
	油雾收集器	直列式疏水阀 OMI-200
操作系统	主阀	蝶阀
	辅助阀	三通阀
	自动泄漏阀	是的
	手术	手动的
控制系统	皮拉尼真空计	GP-1G
	电离真空计	GI-M2
安装	主体*大尺寸	730毫米（宽）x 584毫米（深）x 1161毫米（高）
	电源	480毫米（宽）x 435.3毫米（深）x 149毫米（高）
	主体	160公斤
	电源	40公斤