特征

• 玻璃钟罩可以方便地看到内部，并且易于操作。
• 无需停止主泵即可打开真空室。
• 通过添加蒸发电源和电极，可以实现同时沉积和多层沉积。
• 通过更改为EB规格，可以沉积高熔点材料的薄膜。
• 该沉积设备配有脚轮，方便移动。
• 配有调节器以确保安装过程中的**。

规格

模型		VPC-1100
真空性能	极限压力	4.0× 10-4 Pa 1.3×10-4 Pa （使用液氮时）
	排气时间	4.0× 10-3 Pa/10min 10-4 Pa/10min（使用液氮时）
真空室	真空室	玻璃钟罩（内径Φ390mm x 高350mm）
	饲料颜色	20 个端口（侧面 14 个/底部 6 个）
	推荐电路板尺寸及*大尺寸*1	□50mm ・ □220mm（*大）
电力系统	蒸发电极配置	3点式
	蒸发电源/个	SEREM PSE-150C・1型 0~10V 150A（*大）
排气系统	主泵*2	油扩散泵（水冷）1100L/秒
	液氮阱	是的
	辅助泵	油旋片真空泵200L/min，2台
	油雾收集器	选项
操作系统	主阀	蝶阀
	辅助阀	三通阀
	自动泄漏阀	选项
	手术	手动的
控制系统	皮拉尼真空计	GP-1G
	电离真空计	选项
安装	主体*大尺寸	1235毫米（宽）x 836毫米（深）x 2155毫米（高）
	电源	设备主体存放
	主体	313公斤
	电源	设备主体存放