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日本进口ULVAC爱发科小型蒸发设备
产品型号：VPC-061A
产品展商：ULVAC爱发科

这是一款低成本、小型电阻加热真空镀膜装置，其所有必要设备（例如主泵、辅助泵、阀门管道、电气系统和压力测量端口）均紧凑地安装在管架内。 非常适合小型基板的基础研究和开发实验。
详细介绍

特征

  • 它是一种桌面型号，体积小巧，可节省安装空间。
  • 玻璃钟罩可以方便地看到内部，并且易于操作。
  • 无需停止主泵即可打开真空室。

规格

模型 VPC-061
真空性能 极限压力 1.3× 10-3 Pa
6.6×10-4 Pa （使用液氮时）
排气时间 4.0× 10-3 Pa/20min
1.3× 10-3 Pa/20min（使用液氮时）
真空室 真空室 玻璃钟罩（内径Φ150mm x 高200mm）
饲料颜色 3 个端口（底部 3 个）
推荐电路板尺寸及*大尺寸*1 □25mm ・ □50mm（*大）
电力系统 蒸发电极配置 1点型
蒸发电源/个 SEREM PSE-150C・1型
0~10V 150A（*大）
排气系统 主泵 油扩散泵（风冷）50L/秒
液氮阱 是的
辅助泵 油旋片真空泵20L/min
油雾收集器 选项
操作系统 主阀 蝶阀
辅助阀 三通阀
自动泄漏阀 -
手术 手动的
控制系统 皮拉尼真空计 选项
电离真空计 选项
安装 主体*大尺寸 434毫米(宽)×422毫米(深)×673毫米(高)
电源 480毫米(宽)×435.3毫米(深)×149毫米(高)
主体 28公斤
电源 40公斤
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