*Cosmos 系统 于 1997 年推出,该系统通过消除安装现场的气体校准需求以及回收传感器来*大限度地降低运行成本。
用于检测半导体工厂的半导体材料气体泄漏
◆便携式(Cosmos型)半导体材料气体检测仪 XPS-7II
◆便携式半导体材料气体检测仪 XP-703DIII
*1 仅可使用以太网或扩展单元 Modbus-RTU。 *2 主单元的模拟输出为主单元专用。子单元上安装的传感器的模拟输出需要扩展单元(AO 模块)。 扩展单元(AO 模块)也可输出主单元上安装的传感器的模拟信号,从而实现多芯连接。 *3 使用子单元安装两个或多个传感器并使用单独触点输出时,需使用扩展单元(DO 模块)。 此时,主单元上安装的传感器的单独输出将从扩展单元输出(主单元的触点作为集合输出)。 *4 同时使用模拟输出和数字输出时,功耗会增加。