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新品直销COSMOS新宇宙气体检测仪
产品型号:PS-8
产品展商:

全球开创!本公司**的专线半导体式感测器可高灵敏度检测SiH4(甲矽烷) 长寿命化感测器延长了更换周期

详细介绍

特征

  • 半导体工厂用气体检测仪
  • 使用“Cosmos 系统*”取代校准的传感器单元
  • 我们专有的专线半导体氢化物传感器具有较长的使用寿命(即将推出)
  • 大型、高清晰度的液晶屏让您一眼就能了解现场情况
  • 兼容 PoE,减少布线并轻松无缝地连接到 PLC
  • 前部可轻松更换传感器
  • 可以根据所用气体的类型和数量使用子单元/扩展单元来组合传感器。

*Cosmos 系统
于 1997 年推出,该系统通过消除安装现场的气体校准需求以及回收传感器来*大限度地降低运行成本。

目的

用于检测半导体工厂的半导体材料气体泄漏

◆便携式(Cosmos型)半导体材料气体检测仪 XPS-7II

◆便携式半导体材料气体检测仪 XP-703DIII

规格

模型 主机:PS-8N、PS-8M
子机:PS-8S
兼容传感器原理 控制电位电解、热丝半导体、隔膜原电池
采样方法 泵吸入式(约0.5L/min±20%自动吸入流量控制)
被检测气体 取决于规格
检测范围 取决于规格
展示 单色LCD全点阵显示屏
气体浓度:5位显示(带单位)
其他:气体名称显示、流量状态显示、报警(1级和2级)状态显示、故障显示
※PS-8S无此功能。显示在主机上
报警设定值 取决于规格
报警准确率 可燃气体:相同条件下报警设定值的±25%
有毒气体:相同条件下报警设定值的±30%
氧气缺乏:相同条件下±1vol%
延迟警告 可燃气体:30秒内、警报设定值的1.6倍
有毒气体:60秒内、警报设定值的1.6倍
氧气不足:5秒内(20±2℃)从浓度10vol%达到18vol%
(不包括上述所有气体的配管长度和连通时间)
报警显示 ・气体警报第 1 级:警报 1 LED(红色)闪烁,LCD 屏幕显示 ALARM 1
・气体警报第 2 级:警报 2 LED(红色)闪烁,LCD 屏幕显示 ALARM 2
外部输出 [数字信号*1]
PS-8M:以太网10BASE-T/100base-Tx(Modbus/TCP)
Modbus/TCP(*大连接设备数取决于系统配置)
*大传输距离100m(*大至HUB)
PS-8N、PS-8S:无
※使用扩展单元MR模块时,PS-8N为RS485(Modbus-RTU)
[气体浓度模拟信号*2]
PS-8N、PS-8M:DC 4-20mA(与电源共用负极端子)(输出精度:满量程±0.5%以内)
※发生故障报警时为0.6mA以下 ※包括配线电阻在内必须在300Ω以下
[大量气体报警接点(第1级和第2级)、大量故障报警接点*3]
各1a无电压接点/自动复位
※额定负载AC125V 0.5A或DC30V 1.0A(电阻负载)
※单独接点输出需要扩展单元
防爆性能 非防爆
工作温湿度范围 0℃至40℃(无急剧变化)、30至85%RH(无凝露)
所用电源 ・PS-8N:DC24V±10%
・PS-8M:DC24V±10%或PoE(以太网供电,IEEE 802.3at)
・PS-8S:由主机供电
功耗*4 CDS-7:3.5W(*大5.2W)
CDS-7(催化转化型):4.0W(*大5.9W)
COS-7:3.5W(*大5.2W)
CHS-7:4.0W(*大5.9W)
尺寸和重量 ・PS-8N、PS-8M:W70mm x H124mm x D172mm(不包括突起部分),约850g(不包括传感器)
・PS-8S:W70mm x H124mm x D172mm(不包括突起部分),约770g(不包括传感器单元)

*1 仅可使用以太网或扩展单元 Modbus-RTU。
*2 主单元的模拟输出为主单元专用。子单元上安装的传感器的模拟输出需要扩展单元(AO 模块)。
扩展单元(AO 模块)也可输出主单元上安装的传感器的模拟信号,从而实现多芯连接。
*3 使用子单元安装两个或多个传感器并使用单独触点输出时,需使用扩展单元(DO 模块)。
此时,主单元上安装的传感器的单独输出将从扩展单元输出(主单元的触点作为集合输出)。
*4 同时使用模拟输出和数字输出时,功耗会增加。