紧凑高效的 XDD1 隔膜泵可用于支持小型复合涡轮分子泵,适用于洁净和高真空应用,也可设计为独立的台式装置。当用于支持 70 ls -1涡轮分子泵时,XDD1通常可达到超过 5 x 10-8 mbar 的极限压力。