玉崎代理OHKURA大仓金属膜片减压阀 RD210A4 玉崎科学仪器（深圳）有限公司

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玉崎代理OHKURA大仓金属膜片减压阀

产品型号：RD210A4

产品展商：OHKURA大仓

该金属膜片减压阀可用于半导体工业，如掺杂和外延生长，各种化学分析，特殊气体，高纯气体，腐蚀性气体等。

详细介绍

■洁净材质
隔膜采用金属接头密封于主体，所有产品均经过氦气泄漏检查、无油无水、清洁处理。
■通用性强
高压、低压共计8种类型，可面板安装、底部安装。

物品	高压 RD210A1□1□	低压用 RD210A4□2□
耐压性	*大24.5MPa	*大2.94MPa
使用的主要压力	*大14.7MPa	*大2MPa
压力设定范围	171.6kPa 343kPa 686kPa 1372kPa 2059kPa	171.6千帕 343千帕 686千帕
有效孔口	φ0.7	φ2
CV值	0.015	0.1
一次压力特性*1	0.5% *1 一次压力特性 (设定压力变动范围/一次压力变动范围) × 100 (at 10 l/min)	1.3% *1 一次压力特性 (设定压力变动范围/一次压力变动范围) × 100 (at 10 l/min)
可重复性	±0.98千帕
滞后	±3.92千帕
外部泄漏	1.013×10-10Pa･m3/s（He）以下
内部泄漏	1.013×10-8Pa･m3/s（氦）以下
与流体接触部件的材质	SUS316、SUS316L、聚三氟氯乙烯
工作温度范围	-10 至 80°C
港口	60° 进×2 出×2	90° 进×1 出×2
连接端口（连接VCR）	1/4NPT Rc1/4 VCR1/4GR 2 2 VCR是Swagelok公司的注册商标。
大量的	920克
面板切割	φ33