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精密型OHKURA大仓质量流量计
产品型号:MF1151B
产品展商:OHKURA大仓
MF1100B系列是兼具高性能和低价格的质量流量计/质量流量控制器。它拥有从5 SCCM到20 SLM的15个流量范围,可轻松用于从分析到工业用途的各种应用。
详细介绍
特征
■高可靠性
内部电路集成化,可靠性更高,结构更紧凑。
■高兼容性
可使用与本公司MF5100B系列相同的配管接头、电源、设定器。
■丰富的外围设备
外围设备备有指示器、设定器、电源、带接头的电缆等。
规格
模型
质量流量计
质量流量控制器
标准范围
低价商品
通用产品
低价商品
通用产品
控制范围
MF1121B
MF1111B
MF1171B(常闭)
MF1181B(常开)
MF1141B(常闭)
MF1151B(常开)
准确度评级
0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM
0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃
0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃
0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃
0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃
0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM
0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃
0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃
0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃
1.0~50 〃 20~1,000 〃 0.4~20 〃
控制范围
-
2~100%满量程
准确度评级
±2%FS以下
±1.5%FS以下
±2%FS以下
±1.5%FS以下
线性
±1%FS以下
±0.7%FS以下
±1%FS以下
±0.7%FS以下
可重复性
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
响应时间
输出电压约3秒内收敛到设定值的±2%FS以内。
*大工作压力
1.0兆帕
耐压性
1.5兆帕
压力损失
5.0千帕
工作压差
-
5SCCM~5SLM:34~275kPa
10~20SLM:69~275kPa
流量设定
-
0至5 V DC
0 至 5V DC(标准)
1 至 5V DC(可选)
输出信号
0至5 V DC
0 至 5V DC(标准)
1 至 5V DC(可选)
工作温度范围
5至45°C(与气体温度相同)
安装位置错误
±0.5%FS以下(安装位置自由)
泄漏标准
1.013×10
-9
・m
3
/s(He)以下(标准)
管道连接
1/4 Swagelok(标准)、VCR(可选)
接触气体部件材质
SUS316、氟橡胶
SUS316、氟橡胶、氟树脂
大量的
约680克
约800克
功耗
1VA或更低
3VA或更低