这是一款新一代清洗机，通过管状喷嘴喷射超声波清洗液。支持侧面和背面照射
高灵活性的管状喷嘴可实现均匀清洗。
它继承了QUAVA的高性能，非常适合单晶圆清洗。
在日本，使用超声波清洗机时，需要向地方通信局申请高频设备使用许可。 但是，如果产品输出功率在50W以下，且用于工厂，则无需申请。 （对于输出功率超过50W的产品，例如30110型号，则需要申请。）
您可以从三种类型的管子中选择：**照射、喷淋照射和侧面照射。 由于它是管状喷嘴，因此易于安装在不受换能器安装空间限制的设备上。