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KAIJO晶圆基板单片清洗超声波清洗机
产品型号：78BK30-660
产品展商：KAIJO

同时进行喷淋和超声波清洗，可实现超精密清洗，避免再次附着。
详细介绍
同时进行喷淋和超声波清洗，可实现超精密清洗，避免再次附着。
特殊反射式比透镜喷淋式结构更简单，清洗效率更高。通过向上喷射清洗液，可清洗FPD基板等的背面。

支持的频率 950千赫
频率高于 50 kHz 的型号无法指定为型号，因此必须申请并获得许可证。
为了消除许可证发放前的等待时间，Kaijo 支持“提前申请”，即在下单时同时提供申请所需的信息。

目的

  • LCD/晶圆基板清洗

振荡器特性

  • 750kHz/950kHz与Hi-mega兼容，通过更换振荡器可以提高清洁性能。
  • 它比上一代 Hi-Mega 78101 型号小了 81%，重量仅为 17 公斤！功率从 900 瓦提升至 1,200 瓦！它可以清洁更大的区域。
  • 通过选择四种特殊振动模式，可以实现比以往更高精度的**清洁。
  • 0.1W 功率设定，功率稳定性高。精准的输出控制，轻松实现无损清洁！（支持 200kHz 及以上）
  • 电力使用采用免费电源系统，因此不受工厂电源电压波动的影响。
  • 其尺寸标准化，适合 19 英寸机架。

传感器特性

传感器
  • 可并入单晶圆LCD清洗设备来清洗背面。
  • 兆声波可去除 0.2μm 或更小的颗粒，实现超**清洁。
  • 高频（950kHz）对被清洁物品造成的损坏很小。
物品 规格
型号名称 6879BK 7979BK 78BK30-660
输入功率 600瓦 900瓦 1200瓦
标称谐振频率 950千赫
有效清理尺寸 330毫米 495毫米 660毫米
所需水量 20-25升/分钟 20-30升/分钟 40-45升/分钟
表壳材质 SUS316L
隔膜材质 SUS316L
接液部分 复合电解抛光处理
*高工作温度 70℃
线长 振动器用：5M2件 振动器用：5M3件 振动器用：5M 4个
传感器：5M x 1 传感器：5M x 1 传感器：5M x 2
保护电路 液位传感器（特氟龙）
FU93（基恩士）
重量 5公斤 6公斤 7公斤

*除上述型号外，我们还生产其他型号的传感器。请随时联系我们。



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