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智能型ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
产品型号：HR90
产品展商：ULVAC爱发科

通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
详细介绍

通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

特点

  • 高温区域均热化
    实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
    “Model:UR”可比“Model:HR”更加高温化。
  • 氦气密封
    通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常**。
  • 瞬停对策
    采取了1000msec以内瞬停对策。
  • 出色的耐腐蚀性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
  • 通信功能
    可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途


  • CVD装置
  • 蚀刻装置
  • 灰化装置
  • ALD、ALH 等
规格
型号 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
使用泵 干式真空泵 HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
机械增压泵 - - PRC-003A PRC-006A PRC-012A
*大
排气速度 		50Hz m3/h
(L/min) 		62(1030) 112(1860) 359(5,980) 653(10,900) 1,012(16,900)
60Hz m3/h
(L/min) 		80(1333) 126(2100) 365(6,080) 701(11,700) 1,051(17,500)
到达压力 Pa 5 0.67
*大排气压力
（吸入圧力） 		大气压 *1
*大排气压力
（吸入圧力） 		Pa 1~ 大气压
吸气口 (CE规格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100)
排气口 KF40
质量 kg 180 245 275 370 420
电源 三相 VAC
(Hz) 		200(50/60), 220(60)
电流值 稳定时 A 7.1
(at 200V) 		11.2
(at 200V) 		7.8
(at 200V) 		12.9
(at 200V) 		15.4
(at 200V)
*大值 A 7.3
(at 200V) 		11.8
(at 200V) 		8.1
(at 200V) 		13.8
(at 200V) 		18.9
(at 200V)
冷却水一次圧力 MPa 0.1~0.3
冷却水出入口压差 MPa >0.1
冷却水流量 L/min >5.0
吹扫气 一次压力 MPa 0.1~0.5
二次压力 MPa 0.05~0.1
N2吹扫 轴 SLM 5
气镇 SLM 0~45

*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。



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