日本供应ULVAC爱发科量产干蚀刻设备 NE-7800 玉崎科学仪器（深圳）有限公司

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日本供应ULVAC爱发科量产干蚀刻设备

日本供应ULVAC爱发科量产干蚀刻设备

产品型号：NE-7800

产品展商：ULVAC爱发科

量产干蚀刻系统NE-5700/NE-7800是支持单腔至多腔系统、高度可扩展的蚀刻系统，并强调性价比。

详细介绍

量产干蚀刻系统NE-5700/NE-7800是支持单腔至多腔系统、高度可扩展的蚀刻系统，并强调性价比。

特征

除了单腔体外，还可配备磁性ICP（ISM）、NLD等离子源、灰化腔体、或CCP腔体，支持多种蚀刻工艺。
配备星形电极和各种温度控制功能，确保过程的可重复性和稳定性。
易于维护的结构*大限度地减少了停机时间，并且我们拥有**的备份系统，包括再生和清洁、零件供应、维护和培训服务。
半导体技术研究院提供完整的工艺支持体系。

目的

复合器件（LED、LD、高频器件）及功率器件（IGBT配线加工、SiC加工）。
适用于金属布线、层间绝缘膜（树脂类）、栅极电极的加工工序。
用于蚀刻铁电材料和贵金属。
用于磁性材料加工。