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ULVAC爱发科
精品供应ULVAC爱发科量产干蚀刻设备
产品型号:NE-5700
产品展商:ULVAC爱发科
量产干蚀刻系统NE-5700/NE-7800是支持单腔至多腔系统、高度可扩展的蚀刻系统,并强调性价比。
详细介绍
量产干蚀刻系统NE-5700/NE-7800是支持单腔至多腔系统、高度可扩展的蚀刻系统,并强调性价比。
特征
除了单腔体外,还可配备磁性ICP(ISM)、NLD等离子源、灰化腔体、或CCP腔体,支持多种蚀刻工艺。
配备星形电极和各种温度控制功能,确保过程的可重复性和稳定性。
易于维护的结构*大限度地减少了停机时间,并且我们拥有**的备份系统,包括再生和清洁、零件供应、维护和培训服务。
半导体技术研究院提供完整的工艺支持体系。
目的
复合器件(LED、LD、高频器件)及功率器件(IGBT配线加工、SiC加工)。
适用于金属布线、层间绝缘膜(树脂类)、栅极电极的加工工序。
用于蚀刻铁电材料和贵金属。
用于磁性材料加工。