特征

• 与其他ICP方法相比，磁场辅助可以产生更低的压力、更低的电子温度和更高密度的等离子体，并且可以从离子蚀刻到自由基蚀刻进行广泛的等离子体控制，使其成为一种适用于各种工艺的开发工具。
• 配备“星形电极”，防止射频输入窗口沉积。此外，还配备加热功能，该设备理念强调了可重复性和稳定性。
• 高可靠性的转运机器人和简单的装置结构使其易于维护，成为可靠的研发工具。
• 有多种可选功能可供选择，还可以添加磁带隔间。
• 该系列包括 NE-5700 和 NE-7800，它们兼容多腔体并由用于量产线的相同腔体组成。

目的

• 复合材料（LED、LD、高频器件、功率器件）。
• 电极加工、金属配线、有机薄膜、陶瓷加工等。
• 用于加工铁电体、贵金属、磁性薄膜等难蚀刻材料。
• 纳米压印、NEMS、MEMS、各种传感器。
• 生物芯片、微流体装置、光子晶体等。

规格