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实用型ULVAC爱发科单晶圆PE-CVD设备
产品型号：CME-400
产品展商：

单晶圆PE-CVD设备CME-200E/400是适合沉积硅基绝缘膜和阻挡膜的量产PE-CVD设备。
详细介绍

单晶圆PE-CVD设备CME-200E/400是适合沉积硅基绝缘膜和阻挡膜的量产PE-CVD设备


特征

  • 27.12MHz高密度等离子工艺
  • SiH4型：SiO2 、 SiNx、SiON、a-Si、TEOS型：SiO2薄膜可用
  • 可用NF 3 +Ar 等离子体清洁腔室
  • 可安装用于有机EL低温沉积的加热器
  • 托盘运输支持*大基板尺寸 200mm（CME-200E）（CME-400：支持 300x400）
  • 目的


  • 功率器件
  • LED、LD、高速器件
  • 有机电致发光
  • 太阳能电池
  • 微机电系统


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