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玉科供应ULVAC爱发科负载锁式复合模块式沉积设备
产品型号：LX-200
产品展商：ULVAC爱发科

LX-200系列是能够对二次电池用的各种材料进行锂沉积和溅射的复合沉积/溅射系统。可用于开发现场。
详细介绍

LX-200系列是能够对二次电池用的各种材料进行锂沉积和溅射的复合沉积/溅射系统

可用于开发现场

特征


  • 溅射可以在锂沉积之前和之后的原位环境中进行
  • 节省空间的设计
  • 可根据沉积材料选择直流和射频电源
  • 可在200毫米尺寸的基板上沉积薄膜
  • 目的



  • 二次电池材料开发
  • 规格


模型 LX-200E LX-200S LX-200ES
板尺寸 *大200毫米
薄膜沉积区域 *大180mm□
设备配置 1）准备/取出室 1 1 1
2）运输室 1 1 1
3）蒸发室（坩埚，沉积物向上） 1 0 1
4) 溅射室（沉积，*多 4 个阴极） 0 1 1


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