日本原装ULVAC爱发科多室溅射设备 ENTRONTM - EX W300 玉崎科学仪器（深圳）有限公司

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日本原装ULVAC爱发科多室溅射设备

日本原装ULVAC爱发科多室溅射设备

产品型号：ENTRONTM - EX W300

产品展商：

这是在Al、Cu及难熔金属布线工艺方面拥有丰富经验的单晶圆多腔体平台通过组合SIS（自离子溅射）-PVD、金属CVD/ALD以及兼容下一代工艺的DRY预处理模块实现了佳性价比

详细介绍

日本原装ULVAC爱发科多室溅射设备

这是在Al、Cu及难熔金属布线工艺方面拥有丰富经验的单晶圆多腔体平台

通过组合SIS（自离子溅射）-PVD、金属CVD/ALD以及兼容下一代工艺的DRY预处理模块
实现了佳性价比

特征

该新型号基于我们传统的 ENTRON ^TM -W300/W200 系列，并进行了改进，主要目的是提高生产率。
多可安装 8 个工艺（PVD、ALD、CVD 等）加上 2 个（脱气、冷却）模块。
配备我们的新型传送机器人，其机械吞吐量可达到 100wph 以上。
我们提供*适合专用工艺或小型晶圆厂的S型（单机型）和适合大型晶圆厂的T型（串联型），
使我们能够灵活地响应客户的生产计划。
可以安装监视和管理设备运行状态的ED-PMS系统以及非接触式膜厚测量装置MESEC-BIT。
目的

半导体制造设备