日本进口ULVAC爱发科多室式成膜设备

这是一个多腔室平台，支持各种设备生产

包括半导体逻辑、存储器（DRAM、NAND、下一代非易失性存储器）、封装等。

通过组合各种工艺模块（PVD、CVD、ALD、预清洁、加热、冷却）并加强数据收集和分析能力

我们为客户提供*佳的开发和生产环境。

特征

• 大限度地提高工厂空间效率
  通过提供单机和串联两种类型的平台，可以有效地布置设备以适应客户的工厂空间并大限度地提高单位空间的生产率。
• 高度可扩展的设备设计
  - 快速模块添加和更换设计允许灵活响应不断变化的需求
  - 多可安装 12 个模块（PVD、ALD、CVD、Degas、Cool 等）
• 增强的数据收集和分析能力
  为了跟上日益复杂的半导体制造特性，数据收集和分析能力与以前的型号相比得到了显着改善。实时收集和分析大量数据有助于提高产量，预防性维护并提高工作效率。

目的

• 半导体工艺