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进口山本镀金 YAMAMOTO晶圆电镀设备
产品型号:A-52
产品展商:山本镀金 YAMAMOTO

这是针对2至12英寸硅片的电镀设备组。通过使用特殊夹具,我们可以对半导体和MEMS进行**电镀。

详细介绍

这是针对2至12英寸硅片的电镀设备组

通过使用特殊夹具,我们可以对半导体和MEMS进行电镀

  • 水箱的设计目的是不断过滤水,同时从底部产生温和的对流,使水溢出。
  • 有单面溢流型和可高速混合的双面溢流型两种类型。采用桨式搅拌进行直接混合。
  • 它也可以用作生产设施。
  • 我们已获得多项国内和国际,还有多项正在申请中。
  • 基材

它不仅可以用于硅晶片,还可以用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。

关于定制产品

使用标准设备作为基础,我们可以定制适合您的样品的夹具或双面电镀夹具。我们
还拥有制造阳极氧化和耐酸铝夹具
等设备的经验。 夹具有全封闭型、非封闭型、卧式等多种类型


套装内容

A-52-ST□AWJYPPA 硅片电镀实验装置组WJ型(配YPP电源)

零件编号 产品名称 数量

A-52-ST□-P01A

硅片槽(亚克力双底型) 1
A-52-ST□-P02A 硅片阴极盒(标准型)(1) 1
A-52-ST□-P09A 硅片阳极支架(阳极背面刷过)(2) 1
A-52-ST□-P04D 桨式搅拌器 1

B-90-A20-APFA05 /
B-90-A40-APFWJ05

Minimini过滤器20APFA型(适用于2至6英寸)

迷你过滤器40APFWJ型(8英寸适用)

1
A-63-M202
B-92-M10-P04A

气泵M202(AC100V)(2-4英寸)
10L水族箱气泵(5-8英寸)

1
A-52-P18 空气过滤器 1
A-52-ST2-P10WJ
B-85WJ
B-83WJB2
B-95-1A
晶圆水箱加热器WJ2型(2英寸)
300W PFA涂层加热器(AC100V)
300W石英小型浸入式加热器WJB型(5-6英寸)
500W石英加热器(8英寸) 
2
1
3
3
温度传感器、加热器紧固件 1

(1) 请选择方向平面型或缺口型。还提供密封型/吸入密封型。
(2)不溶性阳极也可采用隔膜型。
(3) 产品编号中的方块表示英寸数。
(4) 此套件需与 YPP 电源一起使用。电源、温度调节器和阳极板单独出售。请与 A-57-15031WA、A-57-15100WA 或 A-57-15101D 分别指定电源。 PC 单独出售。

强力搅拌槽(双面溢流型)可实现约两倍的搅拌速度

通过将溢流口从一侧增加到两侧,桨叶搅拌速度提高到*高 130 rpm。这提高了液体混合效率,实现了更稳定的电镀。此外还增加了防止液体飞溅的结构。

零件编号 产品名称 数量

A-52-ST□-U

硅片槽(亚克力双底型) 1