日本樫山工业（Kashiyama Industrial Co., Ltd.）创立于1949年，总部位于日本爱知县春日井市，拥有70多年的历史，是一家以专业研发、制造真空泵及相关设备而知名的工业技术企业，产品广泛应用于半导体、化工、食品、医药等领域。以下是对其主要产品真空泵的工作原理及相关技术参数的专业介绍：
机械真空泵工作原理
机械真空泵主要由泵体、转子、旋片等关键部件构成。当电机驱动转子旋转时，旋片在离心力作用下紧贴泵腔内壁，形成多个小腔室。这些腔室在旋转过程中不断变化体积，实现气体的吸入、压缩，并*终通过排气口排出，从而在泵的吸入端形成真空环境
水环真空泵工作原理
水环真空泵由圆形壳体和偏心安装的叶轮组成。叶轮旋转时，水在离心力作用下形成与壳体同心的水膜，叶轮与水膜及相邻叶片形成密封空间。随着叶轮旋转，该空间体积变化，完成吸气、压缩和排气过程，实现真空环境
干式真空泵工作原理
干式真空泵无需油或水等介质润滑和密封。以干式螺杆泵为例，两个螺杆转子反向旋转，气体被吸入并随着螺杆的螺旋运动被压缩，终排出泵体，从而实现真空。
技术参数
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系列名称
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电机功率(kW)
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极限压力(Pa)
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排气速度(m³/h)
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冷却方式
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重量(kg)
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SDE-X
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1.3
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0.12-1.0
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200-500
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风冷
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约150-200
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LEM
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0.2-11
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2.3×10³-7.3×10³
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17-300
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水冷
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15-300
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LEH
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0.75-7.5
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2.3×10³-7.3×10³
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22-150
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水冷
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19-250
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SDE-TX
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具体值未提及
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0.5
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30000
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具体方式未提及
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440
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NeoDry15G
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具体值未提及
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1.0
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250
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具体方式未提及
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约120-150
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樫山工业的真空泵产品凭借其**的性能和可靠性，广泛应用于半导体制造、化学处理、食品包装、医药生产等领域，为各行业的工艺流程提供了关键的真空环境支持，推动了相关技术的发展和进步。在半导体行业，其产品可用于PVD、CVD、刻蚀等工艺，满足高洁净度要求。在化工领域，适用于各种化学反应的真空环境需求。在食品包装方面，能有效实现食品的真空包装，延长保质期。在医药生产中，可用于药品的干燥、提取等工艺过程。